23：52分，1ppb……长沙惠科超高纯气体供应项目现场调试指挥部最新传到远在广州的广钢气体总部的一组数据，指挥部里的人都在通过广钢气体新建的远程数字化中心，密切关注着调试的整个过程。

记者从广州工控获悉，广钢气体党总支通过实施“攻城拔寨”项目，组织科技党员骨干开展项目攻关，成功研发了国内首套具有自主知识产权技术的超高纯气体制取系统，创造了国内超高纯后备系统供气用时最短纪录，填补了国内制氮装置出冷箱杂质1ppb的空白，还将满足目前最严格的芯片项目对制氮装置出冷箱产品的纯度要求，助力攻关电子气体“卡脖子”技术所取得的重大突破。

为造“芯”填补原材料国内技术空白

据悉，高纯氮气是电子行业不可缺少的基础性原材料，可用于超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程。高端电子行业中的氮气纯度必须保持约99.999999%，才符合电子行业的生产标准。

据介绍，该项目在湖南长沙浏阳经开区建设大尺寸超高清显示屏及OLED显示屏生产线的重要供气配套。建成后将为长沙惠科提供ppb级（即十亿分之一的杂质含量，目前国内最高质量标准）的超高纯气体运营，并确保其可靠性超过99.6%以上，可供性达到100%。在3月31日进入调试收尾阶段，制氮机氮气产量达13400m3/h，产品纯度达1ppb，比合同约定制氮机组供气时间提前1个月。

记者了解获悉，今年3月，工信部等多个部委召开工业气体“卡脖子”问题协调工作会议，协调推进解决制约行业发展的“卡脖子”问题，并提出当前电子气体市场受制于外资品牌的发展困境。

下一步，广钢气体将充分整合广州工控资源条件，打造差异化竞争优势，助力解决电子气体“卡脖子”难题，打破半导体高端领域气体材料进口制约，进一步推进我国电子气体国产化进程，集中力量赋能打造“中国芯”。

文/广州日报·新花城记者：陈丽莉 通讯员 何运涛

图/广州日报·新花城记者：陈丽莉 通讯员 何运涛

广州日报·新花城编辑：王楚涵